工場
半導体製造⼯場の監視・保守業務を効率化
半導体製造⼯場向けに排気系機器を製造・販売している産業機器メーカ様のご依頼で、排気系機器を遠隔集中監視するシステムを開発しました。 ⼯場の監視・保守業務を担当されている⽅の負荷を低減し、製造ラインのダウンタイム低減に貢献しています。
目的
半導体製造技術は日進月歩で進化し続けており、工場においてはより複雑で繊細な機器管理が求められています。
本システムでは、半導体製造工程において重要とされる排気系機器の遠隔集中監視を可能とします。
機器の運転データをリアルタイムに監視することはもちろん、履歴データの推移を参照することができるため、計画的なメンテナンスにも役立ちます。
また、半導体メーカにとって、効率化や歩留まりUPのノウハウとなる機器運転データは企業秘密として扱われます。
それらデータを蓄積・閲覧できる本システムもまた、半導体メーカにとって大変重要なシステムとなっています。
特徴
以下の特徴を有しており、国内外の大手半導体メーカに広く導入されています。
- Webブラウザによる機器監視が可能
- 秒単位での運転状態監視が可能
- 故障発生時にリアルタイムな通知(画面表示、メール送信)が可能
- 故障履歴、運転状態履歴のレポート出力が可能
- 1つのシステムで最大1,200台までの機器が監視可能
また、各半導体メーカ向けにカスタマイズ開発を行ったり、新たに発売される機器に対応するため、初期開発から10年以上経過した今も毎年数回のエンハンスを続けています。
